MEMS技術に基づく加速度計を用いたワイヤレスセンサユニットの開発, J.P.Lynch, A. Partidge, K.H.Law, T.W.Kenny, A.S.Kiremidjian and E.Carryer: Design of Piezoresistive MEMS-Based Accelerometer for Integration with Wireless Sensing Unit for Structural Monitoring[Journal of Aerospace Engin

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