結晶方位解析に基づいたポリシリコン薄膜のヤング率の有限要素解析 (第44回同志社大学理工学研究所研究発表報告会2006年度同志社大学ハイテク・リサーチ,学術フロンティア合同シンポジウム)
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概要
著者
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田中 和人
Department of Biomedical Engineering, Doshisha University
-
田中 和人
Department Of Biomedical Engineering Doshisha University
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