(4)縦型高分解能RBS(ラザフォード後方散乱)分析装置の開発(技術,日本機械学会賞〔2006年度(平成18年度)審査経過報告〕)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-05-05
著者
-
小林 明
(株)神戸製鋼所電子技術研究所
-
木村 健二
京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
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足立 成人
(株)神戸製鋼所機械事業部
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福山 博文
(株)神戸製鋼所
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小林 明
(株)神戸製鋼所
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重河 和夫
(株)神戸製鋼所
-
足立 成人
(株)神戸製鋼所
-
木村 健二
京都大学
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