02aA06 焦電性を改善したLiTaO_3ウェーハ(Black-LT)の現状とその特性(機能性結晶(2),第36回結晶成長国内会議)

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概要

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• Black-LT which suppress the Pyro-electricity of lithium Tantalate single crystal can be accomplished throguh the process of deoxidation to reduce Bulk resistivity of material. In this report, We now present the most feasible LT wafers for SAW filter devices. And, This Black-LT is the result of our pursuit of development of new LT wafers with function against Pyro-electricity.

• 日本結晶成長学会の論文
• 2006-11-01

著者

• 佐橋 家隆

  (株)山寿セラミックス

• 佐橋 家隆

  株式会社 山寿セラミックス

• 倉知 雅人

  株式会社 山寿セラミックス

• 芦田 佐吉

  株式会社 山寿セラミックス

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