2308 3次元形状シミュレータによるMRヘッドのイオンミリング、スパッタ成膜プロセスの数値解析(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス2)
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概要
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In the HDD head process, the control technology of the 3-D shape of the GMR((Giant MagnetoResistance) head is important. This paper presents the numerical analysis of the ion milling process by the 3-D topography simulator. This simulator uses the Level Set Method[1] and the physical model for the moving surface velocity which is based on the experimentally measured etching rate.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-21
著者
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