103 スパッタリングターゲットに関する研究 : 冷却水による応力と熱応力(G.S.衝撃・動的変形,九州支部 第58期総会・講演会)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文

著者

• 鈴木 康洋

  東電大院

• 樫村 幸辰

  東京電機大学理工学部

• 樫村 幸辰

  東京電機大学

• 樫村 幸辰

  東京電機大・理工

• 樫村 幸辰

  東電大

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