チョクラルスキー法によるすずの結晶成長実験
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The semiconducting materials such as silicon and gallium arsenide have been widely employed for manufacturing integrated circuits. The crystallization process has been established as a Czochralski process but its operating procedure and a crystal rod pulling process have not been totally clarified. Herein we report the solidification results of tin from molten metal in a miniature Czochralski crystallization apparatus. The most important factor to get a crystal rod was found to control the molten temperature at an appropriate value. As a result, we got a tin rod of 19mm diameter, 109mm long and 121g weight.
- 九州大学の論文
- 1994-03-31
著者
-
岩本 光生
大分大学工学部 機械・エネルギーシステム工学科
-
尾添 紘之
九州大学名誉教授 九州大学先導物質化学研究所
-
尾添 紘之
九州大学機能物質科学研究所素子開発部門数理輸送現象研究分野
-
岩本 光生
九州大学機能物質科学研究所素子開発部門数理輸送現象研究分野
-
藤 敬司
九州大学大学院総合理工学研究科
-
相川 勝英
九州大学大学院総合理工学研究科
関連論文
- Cz法融液内温度振動におよぼす回転磁場の影響
- G133 Cz法融液の電流-磁場印加による流動制御(対流伝熱促進・制御III)
- G132 Cz法融液対流に及ぼす水平方向回転磁場印加の影響(対流伝熱促進・制御III)
- 熱工学
- 底面中心部分から加熱された竪型円筒容器内の非磁性流体の自然対流におよぼす磁気力効果
- 反磁性流体における磁気熱対流の過渡特性(一般セッション 対流熱伝達 I)
- 反磁性流体の磁気熱対流に関する数値解析(熱工学II-2)
- 輸送現象の数理解析と実験
- 熱工学
- 高次風上差分法を用いた円筒容器内の気液二相流解析(二相流モデルの比較と差分近似法の比較)
- E152 磁化力による鉛直円筒容器内の安定空気層からの対流誘起
- A202 強い磁場勾配下における密閉円筒容器内の空気の挙動(オーガナイズドセッション4 : 自然対流)
- 9・1・5対流熱伝達 : 9・1伝熱および熱力学 : 9.熱工学
- チョクラルスキー法結晶成長における非軸対称融液対流の数値解析
- 617 CZ 法振動流に及ぼす水平及び回転磁場の影響
- E163 Cz 法振動流に及ぼす回転磁場の影響
- 419 導電性流体の回転磁場による流体回転速度の過渡変化(GS 熱工学III)
- 418 縦磁場下における導電性流体のSpin-up現象に関する研究(GS 熱工学III)
- 411 Cz法流動における非導電性流体の磁化力対流(GS 熱工学I)
- 410 磁場印加下でのCz法融液内濃度分布に及ぼす分配係数の影響(GS 熱工学I)
- 409 Cz法融液対流に及ぼす固液界面形状の影響(GS 熱工学I)
- A210 円筒容器内液体金属流動に及ぼす水平・回転方向磁場の影響(オーガナイズドセッション4 : 自然対流)
- 417 円筒容器内融液対流におよぼす回転磁場の影響(G.S.4-4 熱工学)
- 416 Cz法融液内振動流におよぼすRa数の影響(G.S.4-4 熱工学)
- チョクラルスキー法によるすずの結晶成長実験
- 420 パルスレーザー印加下における透過基板表面温度・溶融時間に及ぼす透過係数の影響(GS 熱工学III)
- G131 ドライアイスブラスト洗浄に及ぼすブラスト条件の影響(対流伝熱促進・制御III)
- Cz法融液内温度振動におよぼす回転磁場の影響
- 液体金属の自然対流と磁場の問題に至る道程
- 液体金属の自然対流におよぼす外部磁場の影響
- 底面中心部分から加熱された竪型円筒容器内の非磁性流体の自然対流におよぼす磁気力効果
- Cz法導電性融液の回転磁場による流動制御(反応・多相系 電磁(2),一般講演)
- Cz法融液の電流-磁場印加による流動制御(反応・多相系 電磁(2),一般講演)
- 結晶成長における熱と物質の移動現象に及ぼす磁場の効果(結晶成長における物質・熱輸送
- 自然対流伝熱研究50年の回顧 (特集 [日本伝熱学会]創立50周年を迎えて)
- ガリウムの自然対流の静磁場印加による電熱促進効果
- 熱対流における静磁場の影響
- Natural Convection セッション
- 自然対流伝熱研究の将来
- 薄膜内の熱輸送に関する分子運動の数値計算
- 静止状態における人体および人体モデル表面からの対流熱流束測定
- 自然対流伝熱研究50年の回顧