RLSAマイクロ波プラズマ源の安定性向上
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概要
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Radial line slot antenna (RLSA)を用いたマイクロ波プラズマ源について、プラズマの不安定性を誘発すると考えられる電磁界の共鳴条件を避ける試みを行った。具体的には、マイクロ波透過窓である誘電体とプラズマとの間に形成される表面波の共振を抑制することを狙って、誘電体に凹凸をつけたものを製作した。この誘電体にRLSAアンテナを装着してプラズマの安定性を調べた結果、プラズマが安定となる圧力範囲、マイクロ波投入パワー範囲が共に大幅に広がり、アンテナ内の電圧定在波比(VSWR)も10程度あったものが5以下に改善された。また、スロットパターンによるプラズマ分布の調整が容易になった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-09-28
著者
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