二酸化シリコン中の鉄超微粒子のイオン注入法による作製とその磁気的性質
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概要
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The formation of iron nano-clusters in amorphous and crystalline SiO_2 by ion implantation was studied. The implantation of ^<57>Fe ions was performed at room temperature up to a total dose of 3.0×10^<17> ions/cm^2 with a projectile energy of 74 keV and 100 keV. It is shown by conversion electron Mossbauer spectroscopy and magnetization measurements that the clusters exhibit transitions from superparamagnetic to ferromagnetic states in the dose range of 1.0〜1.5×10^<17> ions/cm^2. This result indicates that under the same implantation conditions the clusters precipitate rapidly and effectively in SiO_2 at the smaller dose than those in α-Al_2O_3 matrices. Furthermore, we have found that Si atoms dissolve into the precipitated iron clusters in the Fe/SiO_2 nano-composites.
- 2005-08-30
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