17-6 スパッタ法によるacプラズマディスプレイ用保護層MgO膜に関する研究
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概要
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Mgo protecting layer for ac-PDPs was prepared by rfmagnetron sputtering method with and measured aging characteristics of testing panel. Sputtered MgO by high substrate temperature and high argon gas pressure is excellent in point of low sustaining voltage and high luminance.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-07-26
著者
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