2種類の高周波電界の重畳効果に対するスペクトル分析からの一考察
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概要
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In a medium vacuum capacitively coupled high frequency discharge, effects of superposing two applied fields with different frequencies, that is, 2MHz and 13.5MHz have been studied. As a result, Vc of 2MHz side has decreased by the superposed effects in the low pressure region (ω>υ), but Vc has not decreased in the high pressure region(ω<υ). Variations of Pc by the superposed effects in the discharge space of 13.5MHz side have not been able to observe in all pressure region. Here, Vc or Pc is transition voltage or power from glow to arc discharge. In this report it analyzes a frequency in above mentioned superposed effects, using Spectrum Analyzer and a considering of the result is reported.
- 福井工業大学の論文
- 2004-03-20
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