水酸基置換芳香族ケトンで化学修飾したチタンアルコキシドから得られる酸化チタンゲル膜の光パターニング
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概要
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TiO_2 gel films were prepared from titanium tetra-n-butoxide modified with 1-(2-hydroxyphenyl)-3-phenyl-2-propen-1-one in 1-butanol by the sol-gel method. The obtained gel film showed an absorption band, characteristic of the chelate ring, at 425 nm. The absorption band was shifted to the longest wavelength region in the photosensitive gel films which we have examined. The band gradually decreased in intensity by UV-irradiation using a high pressure mercury lamp. This indicates that the gel film is photosensitive. Using the photosensitivity, fine patterns (about 3μm) could be fabricated by the UV-irradiation through a mask and leaching.
- 2006-03-01
著者
-
伊藤 征司郎
近畿大学 大学院総合理工学研究科
-
伊藤 征司郎
近畿大学理工学部応用化学科
-
伊藤 征司郎
近畿大学理工学部
-
今尾 智宏
近畿大学理工学部応用化学科
-
野間 直樹
近畿大学理工学部応用化学科
-
硲 大祐
近畿大学理工学部応用化学科
-
野間 直樹
近畿大学理工学部金属工学科
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