電子ビーム蒸着によるβ鉄シリサイド(β-FeSi_2)の合成

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概要

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FeSi_2合金蒸着によるβ-FeSi_2合成では,Fe及びSiの蒸気圧が低いこと,FeとSiとの間には1けた近くの蒸気圧差があるという問題がある.本論文では,電子ビーム蒸着装置(EB蒸着装置)を用いることでこれらの問題を解決し,β-FeSi_2合成に成功したことを報告する.まずFeSi_2合金のEB蒸着膜のFeとSi組成比をXPSで解析し,ほぼ1:2となることを確認した.次にSi基板上にFeSi_2合金をEB蒸着した試料を赤外線加熱炉を用いて窒素雰囲気中でアニール(700〜900℃)することによってβ-FeSi_2を合成できた.また,FeSi_2合金層とSi基板の間にFe層を蒸着することでβ-FeSi_2形成層が厚くなり,光吸収特性が改善されることがわかった.
2002-11-01

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