プラズマチャンバー内における複数の異常放電発生箇所推定法(システムオンシリコン及び一般)
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概要
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プラズマチャンバー内で起こる複数の異常放電発生箇所推定法を提案する.推定においてはMUSIC(Multiple Signal Classification)法を用いた到来方向推定法を用いている.FDTD(Finite Difference Time Domain)法を用いた電磁界解析によりシミュレーションを行った結果, 放電箇所が複数箇所の場合においても位置推定が可能であることを示す.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-11-18
著者
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