プラズマチャンバー内における放電箇所推定法の提案
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概要
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半導体や液晶などの前工程プロセスには多くのプラズマ装置が使用されている.近年の微細加工処理技術の必要性からプラズマの応用が特に必要となってきているが,装置の真空チャンバー内ではマイクロアークと呼ばれる異常放電が発生し,パーティクルによる品質劣化,ウェハ表面の損傷,デバイスの絶縁破壊,時には装置の停止といった生産性に関わる重大な問題を引き起こしている.この問題を解決する初期段階として,内部での異常放電の発生を確認することが有効と考えられる.今までに異常放電発生時の光や音波振動を検出する方法,電源回路内の電流の異常を検知する方法が検討されているが,完全なリアルタイム検出にまでは至っておらず,発生箇所の特定などはさらに困難な状況にある.そこで,本稿では,放電発生時の電磁波に着目し,プラズマチャンバー内で起こる異常放電の発生箇所を推定するのに必要な構造条件等をシミュレーションにより確認するとともに,電磁波検出による発生箇所推定の可能性を検討したのでその報告を行う.
- 2004-02-12
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