Epitaxial Growth of LiNbO_3 Films on Sapphire Substrates by Excimer Laser Ablation Method and Their Surface Acoustic Wave Properties
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概要
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Epitaxial films of LiNbO_3 have been formed on (001), (110) and (012) sapphire substrates using an excimer-laser ablation technique. The orientation relationships are LiNbO_3(001)&⫽sapphire(001), LiNbO_3(001)&⫽sapphire(110) and LiNbO_3(100)&⫽sapphire(012). LiNbO_3(110) is also obtained on (110) sapphire under the fast-deposition condition. We have fabricated surface acoustic wave (SAW) filters on the LiNbO_3 films and evaluated the properties.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-05-15
著者
-
神戸 士郎
山形大学
-
Kanai M
Inst. Physical And Chemical Res. (riken) Saitama Jpn
-
Kawai M
Riken (inst. Physical And Chemical Res.) Saitama Jpn
-
Kawai Shichio
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Kawai Tomoji
The Institute Of Science And Industrial Research (isir-sanken) Osaka University
-
Kanai Masaki
The Institute Of Scientific And Industrial Research Osaka University
-
Kawai Masayuki
Faculty Of Science Tokai University
-
KAYA Kiyoshi
Electronics Materials and Devices Laboratory, Asahi Chemical Industry Cooperation, Ltd.
-
Kawai M
Institute Of Molecular And Cellular Biosciences University Of Tokyo
-
Kaya Kiyoshi
Electronics Materials And Devices Laboratory Asahi Chemical Industry Cooperation Ltd.
-
SHIBATA Yoshihiko
Electronics Materials and Devices Laboratory, Asahi Chemical Industry Cooperation, Ltd.
-
Shibata Y
Electronics Materials And Devices Laboratory Asahi Chemical Industry Cooperation Ltd.
-
AKASHI Kageyasu
Electronics Materials and Devices Laboratory, Asahi Chemical Industry Co., Ltd.
-
Kinugasa Masanori
Research An Development Tayca Co. Ltd.
-
Akashi Kageyasu
Electronics Materials And Devices Laboratory Asahi Chemical Industry Co. Ltd.
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