Development of Polymers in O_2 Plasmas: Temperature Effects and Transition to Imperfect Anisotropy
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1995-07-15
著者
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Pons M.
Cnet-cns France-telecom
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Pelletier J
Laboratoire De Physique Et Chimie Des Procedes Plasma Universite Joseph Fourier (grenoble 1) Unite C
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PONS Michel
CNET-CNS, France-Telecom
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PELLETIER Jacques
Laboratoire de Physique et Chimie des Procedes Plasma, Universite Joseph Fourier (Grenoble 1), Unite
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JOUBERT Olivier
Laboratoire de Physique et Chimie des Procedes Plasma, Universite Joseph Fourier (Grenoble 1), Unite
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PANIEZ Patrick
CNET-CNS, France-Telecom
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Joubert Olivier
Laboratoire De Physique Et Chimie Des Procedes Plasma Universite Joseph Fourier (grenoble 1) Unite C
-
Paniez Patrick
Cnet-cns France-telecom
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