Observation of the Electric Field Structure in the Sheath of Electronegative Plasmas by Laser-Induced Fluorescence-Dip Spectroscopy
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概要
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We have measured the distribution of the electric field in the sheath formed between electronegative Ar/SF_6 plasmas and a biased electrode by laser-induced fluorescence-dip spectroscopy. It has been found for the first time that the electric field in the sheath of an electronegative plasma has a multistage structure, which may be due to the reflections of negative ions and electrons at different distances from the electrode surface.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2004-01-25
著者
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佐々木 浩一
北海道大学大学院工学研究院
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滝澤 一樹
Department Of Electronics Nagoya University
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佐々木 浩一
Department of Electronics, Nagoya University
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佐々木 浩一
Department Of Electronics Nagoya University
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