2. 表面波とプラズマ生成 : 概論 : 2.1 表面波の励起と伝搬(<小特集>表面波励起プラズマの生成とその応用)
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概要
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One of RF plasmas can be produced and sustained by a large-amplitude surface wave propagating along a plasma-dielectric interface. This type of RF plasmas is currently called "Surface-Wave Plasmas (SWP) ". The long SWPs are characterized by low electron temperatures and low gas-pressures. Recently the SWP discharges have been extensively studied since they satisfy several severe conditions required for reactive RF plasmas in a field of material processing. This paper reviews the excitation and propagation characteristics of normal surface modes along a DC plasma column and the production techniques and theories for standard SWP plasmas.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-07-25
著者
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