6.偏光解析による損耗の実時間計測(小特集><プラズマ対向面での損耗・再堆積研究の進展)
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概要
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Ellipsometry is highly sensitive to variations in film thickness. It makes possible a noncontacting, nondestructive measurement, even in extreme plasma environments. Used as a real-time measurement method, it allows a fast and direct determination of the erosion rate and redeposition rate. Also, it is possible to sense the onset of such phenomena quickly. In the foregoing, we have presented the results of observations in a laboratory setting. It is believed that real-time ellipsometry would be feasible to implement in larger plasma devices, and it would be able to provide a variety of useful information.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2001-09-25
著者
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