ZnS:Mn蒸着膜の膜質評価(II) : "画像変換装置"合同研究会 : 電子装置 : 画像表示
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概要
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エレクトロルミネセントデバイスを作成する過程で、発光層蒸着後のアニールは最も重要であり、しきい値電圧、輝度等の素子特性に大きな影響を及ぼす、このアニール過程のZnS:Mn薄膜形成に及ぼす効果を明らかにするために、アニールの前後の結晶性、組成、Mn^<2+>イオンの状態について測定を行い、考察した。その結果アニールによって発光層の結晶性が向上するだけでなく、発光に寄与していると考えられている孤立したMn^<2+>イオンが増加していることを確認した。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
著者
-
内池 平樹
広島大学工学部
-
福嶋 美文
広島大学工学部
-
福嶋 美文
広島大工
-
登尾 雅之
NEC
-
登尾 雅之
広島大学工学部
-
平尾 秀司
広島大
-
平尾 秀司
広島大学工学部 第二類(電気系)電子素子研究室
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