1/5インチ27万画素FT-CCDカラーイメージセンサ(<論文小特集>(固体撮像とその関連技術))

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概要

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• パーソナルコンピュータ, ワークステーション, PDA(Personal Digital Assistant)などのマルチメディア機器への画像入力装置として, イメージセンサを用いた小型ディジタルカメラが注目されている.我々は, このディジタルカメラのキーデバイスとして, 1/5インチ光学サイズのフレームトランスファ型CCDカラーイメージセンサを開発した.総画素数は, 532(水平)×500(垂直)で約27万画素を有し, 画素サイズは5.8(水平)×4.5(垂直)μm^2である.高感度化に重要な入射光の有効利用を図るため, 画素上のポリシリコン電極を薄膜化し, 多重干渉を考慮してゲート絶縁膜厚を最適化した.画素面積は小さくなったが, この技術により45mV/1xの感度を実現した.カラーフィルタには, Ye-G-Cyの補色ストライプフィルタを採用している.また, パッケージは20ピンの透明樹脂モールドを採用して低価格化を図った.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1995-02-20

著者

• 岡田 吉弘

  三洋電機株式会社 セミコンダクタカンパニーccdビジネスユニット/lsiビジネスユニット

• 石黒 達也

  三洋電機株式会社半導体事業本部lsi事業部

• 竹田 和男

  三洋電機株式会社半導体事業本部lsi事業部

• 渡辺 透

  三洋電機株式会社半導体事業本部LSI事業部

• 岡田 吉弘

  三洋電機(株) 半導体事業本部 LSI事業部

• 岡田 吉弘

  三洋電機株式会社 セミコンダクタカンパニーCCDビジネスユニット

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