ZnS:Mn薄膜EL素子の発光に及ぼすアニールの影響

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概要

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エレクトロルミネセント・デバイスの作成過程において発光層蒸着後の真空アニール処理過程は素子特性を向上させるために重要な過程である。アニール処理過程の薄膜形成に及ぼす影響として詰品性の向上、組成の変化及び発光中心Mnの拡散について発光層の膜質評価を行ってきた。この中で、特に、発光中心Mnの状態に着目し、ESR分光による膜質評価を行うとともに、さらに詳細な知見を得る為に実際にZnS:Mn薄膜EL素子を作成し、発光減衰時間の測定を行い、考察を行った。その結果、結晶牲の向上、組成の変化のみでなく、アニール処理により拡散・孤立したMn^<2+>イオンも発光特性に大きな影響を与えていることが確認された。
社団法人映像情報メディア学会の論文
1989-06-16

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