無電解メッキNi-P基板を用いたフェライト膜スパッタディスク
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概要
著者
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後藤 文男
日電
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田上 勝通
日本電気(株)機能デバイス研究所
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後藤 文男
日本電気(株)機能エレクトロニクス研究所
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青山 森繁
日電
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田上 勝通
日電
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青山 森繁
日本電気(株)会社マイクロエレクトロニクス研究所
-
西本 幸三
日本電気(株)会社マイクロエレクトロニクス研究所
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西本 幸三
日電
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