Co-O膜の磁気特性に及ぼす残留ガスの影響

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概要

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• 成膜時の残留ガスによりCo-O斜め蒸着膜の磁気特性が劣化する機構について調べた.この結果, 残留ガスの主成分である水蒸気が保磁力と角形比を低下させることがわかった.水分圧が高いほど磁化容易軸が膜面内から立ち上がるとともに異方性磁界が減少する.これらの原因はCo蒸気が水分子により散乱を受け, 指向性が変化したためと考えられる.また, 酸素ガス導入によるCo蒸着膜の酸化も水分圧が高いほど抑制される.これは, 膜表面への水分子の吸着によるものと考える.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1996-03-01

著者

• 小川 容一

  日立マクセル

• 平野 広

  日立マクセル(株)磁気メディア開発センタ

• 久保田 隆

  日立マクセル(株)記録メディア事業部

• 飯村 誠

  日立マクセル(株)磁気メディア開発センタ

• 水村 哲夫

  日立マクセル(株)技術研究所

• 飯村 誠

  日立マクセル(株)記録メディア事業部

• 水村 哲夫

  日立マクセル(株) 技術研究所

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