Co-O膜の磁気特性に及ぼす残留ガスの影響
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
成膜時の残留ガスによりCo-O斜め蒸着膜の磁気特性が劣化する機構について調べた. この結果, 残留ガスの主成分である水蒸気が保磁力と角形比を低下させることかわかった. 水分圧が高いほど磁化容易軸が膜面内から立ち上がるとともに異方性磁界が減少する. これらの原因はCo蒸気か水分子により散乱を受け, 指向性が変化したためと考えられる. また, 酸素ガス導入によるCo蒸着膜の酸化も水分圧が高いほど抑制される. これは, 膜表面への水分子の吸着によるものと考える.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-01
著者
-
小川 容一
日立マクセル
-
平野 広
日立マクセル(株)磁気メディア開発センタ
-
久保田 隆
日立マクセル(株)記録メディア事業部
-
飯村 誠
日立マクセル(株)磁気メディア開発センタ
-
水村 哲夫
日立マクセル(株)技術研究所
-
小川 容ー
日立マクセル(株) 技術研究所
-
飯村 誠
日立マクセル(株)記録メディア事業部
-
水村 哲夫
日立マクセル(株) 技術研究所
関連論文
- 6)Co-Cr膜の高温表面酸化に関する検討(画像情報記録研究会)
- Co-Cr膜の高温表面酸化に関する検討 : 画像記録情報
- Co-Cr膜初期成長層の磁性及び記録再生特性の改善に関する検討 : 画像情報記録
- 活性化磁気モーメントを用いた粒子性ノイズの簡略式とCo-CoO系斜め蒸着膜のノイズ特性 ( 磁性薄膜, 一般)
- Co-O膜の磁気特性に及ぼす残留ガスの影響
- Co-O膜の磁気特性に及ぼす残留ガスの影響
- 1)低基板温度で作製した斜め蒸着Co-Cr膜の磁気特性(画像情報記録研究会)
- 低基板温度で作製した斜め蒸着 Co-Cr 膜の磁気特性
- 低基板温度で作製した斜め蒸着Co-Cr膜の磁気特性
- 斜め蒸着テープの記録特性向上のための新記録方式
- 斜め蒸着テープの記録特性向上のための新記録方式
- Co-CoO系斜め蒸着原反におけるCN特性の幅方向分布
- 2)斜め蒸着テープの記録特性向上のための新記録方式(画像情報記録研究会)
- 斜め入射Co-O蒸着膜の記録再生特性
- 海氷の亜結晶粒の結晶軸方位差
- 低基板温度で作製した斜め蒸着Co-Cr膜の磁気特性