エネルギー段差の大きなヘテロ接合をもったアモルファスAPD
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概要
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An amorphous Avalanche Photo-Diode (APD) with a heterojunction of a-SiC : H and a-SiGe : H was formed. The bandgaps of a-SiC : H and a-SiGe : H are 3.5eV and 1.55eV, respectively. The heterojunction has larger conduction band discontinuity than the bandgap of a-SiGe : H. In this amorphous APD, the photo-current multiplication is observed under low electric field. The quantum efficiency strarts to exceed unity when the conduction band discontinuity becomes larger than the bandgap of lower-gap material, and it is likely to saturate at two. The slope of photo-electric conversion characteristics is 1.00. This multiplication is explained by the impact ionization process at the band edge discontinuity region.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-12-15
著者
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須川 成利
キヤノン
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清水 久恵
キヤノン
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小塚 開
キヤノン
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阿閉 忠司
キヤノン
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徳永 博之
キヤノン
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須川 成利
キヤノン(株)デバイス開発センター
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小塚 開
キヤノン(株)デバイス開発センター
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阿閉 忠司
キヤノン(株)デバイス開発センター
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徳永 博之
キヤノン(株)デバイス開発センター
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清水 久恵
キヤノン(株)デバイス開発センター
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近江 和明
キヤノン(株)デバイス開発センター
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近江 和明
キャノン(株) デバイス開発本部 ELTRAN 事業推進センター
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