ac型PDP保護層MgO膜に関する研究
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概要
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ac-PDP用保護層MgO膜をスパッタリング法で形成し、エージング時間依存性を測定した。その結果、スパッタMgO膜は、低維持電圧、駆動電圧の安定性において優れている事が分かった。また、スパッタMgO膜の膜構造をX線解折法およびSEMによって解析した。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1995-01-19
著者
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