低温P-SiTFT液晶用ガラス基板 : 情報ディスプレイ
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概要
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低温p-SiTFT-LCD用ガラス基板として最も重要な要求特性と思われる600℃における耐熱性(熱変形性,熱収縮性)を考慮し,無アルカリガラスAN690組成を開発した. AN690の特性をAS(旭硝子の単純マトリックス用ソーダライムガラス),AN635(旭硝子のa-Si TFT-LCD用無アルカリガラス)と比較した. AN690は700℃という高い歪点を有するため,プロセス温度と思われる600℃の熱処理において優れた耐熱性を示す. AN690は開発中のガラスであるが低温p-SiTFT-LCD用ガラス基板として優れた候補組成と思われる.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1994-02-18
著者
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伊藤 節郎
旭硝子株式会社中央研究所
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伊藤 節郎
旭硝子中央研究所
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西沢 学
旭硝子中央研究所
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中尾 泰昌
旭硝子中央研究所
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中尾 泰昌
旭硝子株式会社 中央研究所
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西沢 学
旭硝子株式会社 中央研究所
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櫛谷 英樹
旭硝子株式会社 中央研究所
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櫛谷 英樹
旭硝子中央研究所
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