低温p-SiTFT液晶用ガラス基板
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概要
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低温p-Si TFT-LCD用ガラス基板として最も重要な要求特性と思われる600℃における耐熱性(熱変形性,熱収縮性)を考慮し,無アルカリガラスAN690組成を開発した.AN690の特性をAS(旭硝子の単純マトリックス用ソーダライムガラス),AN635(旭硝子のa-Si TFT-LCD用無アルカリガラス)と比較した.AN690は700℃という高い歪点を有するため,プロセス温度と思われる600℃の熱処理において優れた耐熱性を示す.AN690は開発中のガラスであるが低温p-Si TFT-LCD用ガラス基板として優れた候補組成と思われる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-02-18