15インチフルカラー高精細液晶ディスプレイ用a-Si TFTアレイ(<論文特集>ディスプレイJapan Display'92を中心として)

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概要

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ワークステーション対応15インチTFTアレイの高歩留まりプロセスを確立した.信号遅延を低減するためにゲート, ソースの両配線にアルミニウムを用いた.ゲート配線は, ヒロック発生を抑制するためクロムとシリコン添加アルミニウム合金の2層構造とし, ソース配線は, 半導体層へのアルミニウムの拡散を抑制するためにバリアメタルとしてチタンを取り入れた2層構造にした.断線, 短絡欠陥の発生確率を低減するため, ゲートのアルミニウム合金層およびコンタクトホール部にそれぞれテーパ形状を与えるエッチング技術を開発した.さらに, ゲート絶縁膜には窒化けい素と酸化タンタルの2層膜構成を用いた.以上のプロセスを採用することにより, 1152(×3)×900画素を持つ15インチフルカラーTFT-LCDを開発することができた.
社団法人映像情報メディア学会の論文
1993-05-20

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