120×90画素サーモパイル型赤外線センサアレイ(ネットワークカメラ、セキュリティカメラ、車載カメラおよび関連デバイス)
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概要
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初めてCMOS技術で120×90画素サーモパイル型赤外線FPAを作製した.本デバイスは,3900V/Wの高感度を実現し且低コスト化が可能である.チップサイズは,14.4mm × 11.0mm, イメージ領域が12.0mm × 9.0mmである.各センサの構造は,真空封止パッケージに最適化され,2対のサーモパイルとNMOSトランジスタからなり,100 × 100 μm の外寸,90kΩの内部抵抗を有する.微細にパターン化したAu-black赤外線吸収膜は低圧蒸着法とPSG犠牲層を用いたリフトオフ技術を用いて作製した.これらの技術は,Au-black膜をCMOSプロセスと同等の精度でパターニングできる事を可能にした.このAu-black膜は波長8-13μm領域において90%以上の高い吸収率を示した.本センサは,自動車応用及び民生品用途に有効な性能を実現した.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2002-07-19
著者
-
廣田 正樹
日産自動車
-
廣田 正樹
日産自動車(株) 総合研究所 電子情報研究所
-
廣田 正樹
日産自動車(株)総合研究所
-
中島 靖志
日産自動車株式会社総合研究所
-
齋藤 誠則
日産自動車株式会社総合研究所
-
佐藤 文紀
日産自動車株式会社総合研究所
-
廣田 正樹
日産自動車(株)
-
中島 靖志
日産自動車 電子情報研
-
佐藤 文紀
日産自動車(株)総合研究所電子情報研究所
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