3-2 RF MEMSとその解析支援技術について(3. 女性技術者・研究者はこんなことをしています, <特集>女性会員に期待する)
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概要
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最近, マイクロマシンという言葉がいろいろなところで使われるようになってきている.マイクロマシンは, また, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)とも呼ばれているが, MEMSといっても, その応用分野は様々であり, 大きく分けて6または7の分野に分けられるといわれている.その中でも, RF(高周波帯)MEMSは, 今後, 情報通信分野での発展が期待されているデバイスである.ここでは, RF MEMS技術の今後の課題の一つといわれている解析支援技術について述べる.
- 2005-11-01
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