移動境界適合座標系を用いた可動電極をもつMEMSバリヤブルキャパシタの数値解析(可変デバイス)(<特集>超高周波アナログ可変機能デバイス回路技術論文特集)
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概要
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RF通信の分野において, フィルタやコンデンサとして使用するMEMSデバイスが注目されているレMEMSデバイスの主な特徴は, 低損失かつ, パラメータが可変である点であり, 実用化に向け, 様々な研究 がなされている. その適渡的振舞いを数値計算により求めることは. MEMSデバイスの設計, 開発のために強 く望まれていもが, 可動部分をもつデバイスを過渡的現象を含めて解析する数値解析法はまだ確立されていない. ここでは, 格子生成法に時間因子を導入し, 運動する物理座標系から静止した正方格子で表される計算座標系へ 座標変換し, FD-TD法を用いて数値解析を行う手法を提案する. 振動する境界や運動する物体に適用できる移動境界適合座標系を用いて2枚の振動する電極をもつくし型バリヤブルキャパシタの静電容量と可動速度との関 係について解析を行い, その過渡的状態を求めることができた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-01-01
著者
-
黒田 道子
東京工科大学コンピュータサイエンス学部
-
三浦 典之
東京工科大学
-
河野 幸平
東京工科大学
-
TENTZERIS Manos
ジョージア工科大学
-
黒田 道子
東京工科大学
-
河野 幸平
東京工科大学工学部
-
テンジェリス マノス
ジョージア工科大学
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