プローブレーザビームを用いたエキシマレーザ誘起プラズマの解析 : エキシマレーザによるアブレーション加工の基礎的研究(第2報)
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概要
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We made time resolved measurements of laser-plasma interaction to study the effects of laser-induced plasma on laser processing during laser irradiation. A probe laser of 40 microns diameter was used for the measurements. The reduction of the probe laser intensity by laser-induced plasma was observed in the latter part of a laser pulse. The radial distributions of plasma absorption coefficients and removal depth were measured at various diameters of uniform intensity beams. A plasma absorption model where plasma expands vertically was developed and, using the model, the effect of laser-induced plasma on drilling speed was estimated.
- 社団法人溶接学会の論文
- 1998-11-05
著者
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宮本 勇
大阪大学工学部
-
宮本 勇
大阪大学大学院工学研究科
-
宮本 勇
大阪大学
-
宮本 勇
大阪大 大学院工学研究科
-
大家 利彦
工業技術院四国工業技術研究所
-
大家 利彦
(独)産業技術総合研究所単一分子生体ナノ計測研究ラボ
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