SiCセラミックサーミスタの特性
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概要
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化学的安定性に優れ、電磁波の吸収率が低いSiCセラミックスをハイパーサーミアに応用することを検討している。本報では、SiCセラミックスの電気的性質が製造条件に大きく依存することから、焼結助剤としてのB、Cの他に、不純物としてAlを添加したときの体温付近におけるSiCセラミックスの電気伝導度の測定を行い、不純物添加量と電気伝導度との関係について検討を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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