セラミックエミッタの劣化のメカニズム
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概要
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近年のLSIの高集積化に伴い、半導体工場において、マスク、ウエハ等への微粒子の静電吸着による表面汚染が深刻な問題となっている。このような静電吸着を除去するためにイオナイザは有効である。このイオナイザは針状電極に高電圧を印加してイオンを発生させ、帯電物を除電する装置である。しかし、電極に高電圧を印加した際に電極先端が破壊し、飛散した粒子が発塵源になることがある。このような問題を解決するために、我々は新しいイオナイザ用放電電極(セラミックエミッタ)を開発し、その特性を評価したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
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