インジェクション型イオナイザの評価
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概要
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電子デバイス用クリーンルームにおいて、微粒子が静電吸着により半導体や液晶に付着するため、これらの電子デバイスの歩留まりが著しく低下することがある。この対策として、クリーンルーム内においてイオナイザが利用されている。このイオナイザは放電電極に高電圧を印加し、その先端からイオンを発生し、帯電したデバイス等を除電する装置である。このイオナイザから高濃度のイオンを発生させるためには、放電電極に印加する電圧を高くする必要がある。しかし、印加電圧を高くするに従って電極の劣化が著しくなる。そこで我々は、イオンの発生量は一定とし、帯電物へのイオンの到達率を向上させる方法を検討している。本報では、イオナイザの除電効率を向上させるため、放電電極から気体を噴射する構造のイオナイザ、すなわちインジェクションタイプイオナイザを提案し、その基本特性を検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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