高出力NiFeCo合金膜MRセンサ
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概要
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NiFeCo合金膜を用いた磁気抵抗(MR)センサは、従来のパーマロイMRセンサを越える高性能磁界センサとして有望である。本報告では、同合金膜の組成比の選択と成膜条件の最適化を検討し、センサの使用環境として標準的である20Oe前後の低磁界下で、著しい特性の向上を達成した結果を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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山田 一彦
日本電気(株)
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辰巳 富彦
日本電気(株)機能エレクトロニクス研究所
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都倉 一嘉
第二伝送通信事業部
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高土 平治
第二伝送通信事業部
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石下 貴代美
第二伝送通信事業部
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上杉 則彦
第二伝送通信事業部
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山田 一彦
日本電気(株)機能エレクトロニクス研究所
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