フォトコンダクターによる光ビーム形状の評価
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概要
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高分解能な光ビーム形状の測定法として、フォトコンダクターを光電変換素子として用いた測定系を提案した。フォトコンダクターは微小ギャップを持つ電極を有しているが、これをスリットとして走査することで光ビームプロファイルを測定することが出来る。この系では、ギャップ幅を狭くしても感度の低下はなく、光の散乱の影響も受けにくいため、従来に比べ高感度で高分解能なビーム形状測定系を実現出来る。更に回転スリット部が無いことから、ワーキングディスタンスを極端に短く取れるなどの特徴がある。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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