光ヘテロダイン法による光薄膜の膜厚と屈折率測定
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概要
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光ヘテロダイン法は、僅かに周波数の異なる直交二周波光を重ね、これらを受光して得られるビート信号を解析する事で測定物の様々な情報が得られる方法であり、非接触、非破壊、高精度等の利点を有する光学的測定法の一つである。本報告では、光源の波長に依らず任意のレーザ光が使用可能な測定系を得るために、周波数シフタに二個の音響光学フィルタ(AOTF)を用い、光ヘテロダイン干渉計を構成した。また、本装置を用い光学薄膜の膜厚及び屈折率の測定を行い、エリプソメータで測定した結果と比較検討したので以下にその結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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