差動静電容量式センサの高制度インターフェイス回路
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概要
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差動静電容量式センサは、圧力や位置等の測定に使用される。近年、センサの小型化による微小静電容量の測定が必要になってきている。このためセンサ素子とセンサインターフェイス回路には高分解能化、温度特性や非線形性誤差の改善、浮遊静電容量の影響の改善、センサキャパシタの誘電体や電極面積の変化による影響の改善が要求されている。本報告ではレシオメトリック信号処理による上記の誤差要因の除去について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
望月 孔二
沼津工業高等専門学校(沼津高専)
-
渡辺 健蔵
静岡大学電子工学研究所
-
増田 誉
静岡大学電子工学研究所
-
渡辺 健蔵
静大電子研
-
渡辺 健蔵
静岡大学大学院電子科学研究科
-
増田 誉
(株)山武研究開発本部
-
望月 孔二
沼津工業高等専門学校
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