CCD基本特性自動解析シミュレータの開発
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概要
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プロセスシミュレーションの結果から, CCD固体撮像素子の基本となる電気特性を完全自動で解析できるCCD基本特性自動解析シミュレータを開発した. 本シミュレータにより, 専門家でないデバイス設計者でも, 素子特性の予測シミュレーションが, 簡単に, 且つ従来時間比 約1/10程度で実現可能になった. また, デバイス開発初期段階で, 短時間に詳細な素子設計を行うことができるので, CCD固体撮像素子の高性能化を短期間に実現できる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-25
著者
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立川 景士
松下電子工業(株)京都研究所
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梅田 卓也
松下電子工業(株)LSI開発センター
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岡田 裕幸
松下電子工業(株)プロセス開発センター
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梅田 卓也
松下電子工業(株)プロセス開発センター:(現)松下電器産業(株)半導体先行開発センター:(現)松下電子(株)マイコン事業部
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大原 完治
松下電子工業株式会社 半導体社 プロセス開発センター
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小田 嘉則
松下電子工業株式会社 半導体社 プロセス開発センター
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立川 景士
松下電子工業(株)プロセス開発センター
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