サーマルヘッド用Ta_2N薄膜発熱体の劣化挙動
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概要
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サーマルヘッド発熱体に用いるTa_2N薄膜の劣化挙動について検討し,以下の知見を得た.(1)保温層と発熱体との間にSiO^2薄膜を挿入することにより発熱体の劣化を抑制できる.(2)加熱のされ方および加速試験でのパルスの印加のされ方により抵抗値変動が異なる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-06-25
著者
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木村 勝
沖電気工業株式会社電子デバイス事業本部実装技術センター
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柴田 進
沖電気工業株式会社電子デバイス事業本部
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柴田 進
沖電気工業株式会社電子デバイス事業本部実装技術センター
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柴田 進
沖電気工業(株)電子デバイス事業本部
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