電子線励起超音波信号による非破壊・内部観察
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概要
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電子線超音波顕微鏡(Electron-Acoustic Microscopy)は、断続電子線照射により励起された超音波信号を用いた非破壊・内部観察が可能な観察方法として、提案されている。我々のEAMは、通常のSEMに、電子線断続装置と、断続電子線照射により励起され伝播された超音波信号を検出する超音波検出器と、検出した信号の増幅器とを付加し構成する。今後この非破壊・内部観察をMOSLSIに適用し、SEMモードによる表面像で観察場所を選択の後、EAMモードによる内戦観察を行い、表面A1配線電極下の拡散層の状況を非破壊でその場観察する事が出来た。
- 1993-12-09
著者
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