斜入射照明露光法における実解像度向上
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概要
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斜入射照明法は解像限界を延ばし、瞳フィルタやt-πマスクといったコントラスト向上法と組み合わせて、さらに解像度および焦点深度を向上させる。しかし、孤立パタンについては効果が少なく、また周期パタン端部でパタン歪が生ずるという問題があった。これに対して、周期性を補うような補助パタン群APGを導入し、その効果やパラメータ特性を示した。また、実験によりAPGが孤立ラインの解像度を向上させ、周期パタン端部でのデフォーカス時の歪みを解消して焦点深度を向上させることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-28
著者
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為近 恵美
NTT通信エネルギー研究所
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為近 恵美
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
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為近 恵美
Ntt Lsi研究所
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原田 勝征
NTT LSI研究所
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堀内 敏行
NTT LSI研究所
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