高効率LD励起固体レーザの波長変換によるグリーン光、紫外光の発生
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概要
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高効率半導体レーザ励起ヘッドを赤外光源に用いた内部波長変換QスイッチSHGレーザにより、平均出力138Wのグリーン光をビーム品質M2-11、電気一光変換効率7.1%で発生した。最高出力時のグリーン光輝度は434(MW/cm2sr)にあたり、我々の知る限りl00Wクラスの内部波長変換型グリーンレーザとしては世界最高値である。また、同グリーンレーザを用い4倍波発生試1験を行い全固体紫外レーザで世界最高となる紫外出力20.5Wを発生した。また、微細加工用3倍波レーザについても紹介する。
- 1999-10-20
著者
-
藤川 周一
三菱電機株式会社・先端技術総合研究所・加工制御システム技術部
-
小島 哲夫
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
藤川 周一
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
今野 進
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
安井 公治
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
安井 公治
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
安井 公治
三菱電機(株)先端技術総合研究所開発戦略部
-
小島 哲夫
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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