全固体UVレーザによるSi基板の微細穴あけ加工
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2009-11-26
著者
-
藤川 周一
三菱電機株式会社・先端技術総合研究所・加工制御システム技術部
-
藤川 周一
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
藤川 周一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
桂 智毅
三菱電機先端技術総合研究所
-
桂 智毅
三菱電機先端総研 加工制御システム技術部 レーザシステムグループ
-
中村 玲王奈
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
関連論文
- 4kWラジアル偏光ビームの発生
- プリパルス/PFN回路方式XeClエキシマレーザの動作解析
- 全固体高出力UVレーザーとその応用
- 02aA09 紫外光発生におけるCsLiB_6O_結晶内部の水不純物の影響(機能性結晶(3),第36回結晶成長国内会議)
- ハイパワー波長変換レーザー
- 900nm帯高出力半導体レーザの開発
- 高出力高信頼レーザーダイオードパッケージ
- Yb添加ダブルクラッドファイバを用いた高エネルギーパルス発生
- 高集光・高効率LD励起ロッド型レーザーと高出力波長変換技術
- 高効率・高輝度ロッド型固体レーザー
- スタック型 LD を用いた高効率・高集光 Nd : YAG ロッドレーザーの開発
- 新製品・新技術紹介 全固体パルスレーザーによる高効率・高集光ビーム発生
- 高集光ロッド型レーザー (特集 LD励起高出力固体レーザーと加工技術)
- 高出力LD励起固体レーザの高ビーム品質化
- 高効率・高集光LD側面励起Nd:YAGロッドレーザー
- 高効率LD励起高出力固体レーザー
- CO_2レーザー加工機の現状と新展開
- CS-4-6 材料加工用波長変換紫外線レーザ(CS-4.波長域が広がるレーザ技術とその応用〜「新波長レーザ」のシーズとニーズの融合に向けて〜,シンポジウムセッション)
- 板金用CO_2レーザー加工機の現状と将来動向
- 三菱電機の加工用レーザ発振器の現状と将来技術 (特集 レーザ発振器の現状と将来(2)国内レーザ編)
- 紫外レーザーの最新技術
- 微細加工のためのLD励起高出力可視・紫外レーザー
- 全固体高出力紫外レーザー
- 全固体高出力紫外レーザー
- 微細加工のためのTHGおよびFHGレーザ (特集 非線形光学結晶)
- Nd:YAGレーザーの高出力第4高調波発生
- 高効率LD励起固体レーザの波長変換によるグリーン光、紫外光の発生
- 産業用途向け高出力・高繰り返し波長変換LD-YAGレーザー
- 産業用途向け高出力. 高繰り返し波長変換LD-YAGレーザー
- 完全固体化UVレーザー技術
- 熱工学歪み解消共振器による高輝度固体レーザーの低雑音化および出力安定化
- 高速微細加工を可能にする高出力深紫外固体レーザ (特設記事 製造プロセス用レーザの注目成果)
- 21世紀を切り開く機能性単結晶の基礎と応用(第2回)ボレート系非線形光学結晶を用いた高出力紫外レーザ発生
- 産業用高出力全固体UVレーザの開発(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
- 18aB03 含有OH基低減によるCsLiB_6O_結晶の紫外光への高耐力化(機能性結晶(1),第35回結晶成長国内会議)
- 高ピークパルスYAGレーザとその波長変換技術
- 全固体127Wグリーンレーザ
- 全固体高出力紫外レーザー
- 加工用高出力レーザーのビーム品質測定と評価
- 太陽電池素材の高速多点微細加工
- 産業用高出力高繰り返し波長変換UVレーザとその加工応用
- 2kW出力XeClレーザーの開発
- 次世代微細加工向け完全固体化レーザと波長変換技術 (ワイド特集 日本の先進的モノづくりを支える微細精密加工技術)
- 全固体UVレーザによるSi基板の微細穴あけ加工
- 高効率ファイバ結合型半導体レーザー
- 4kWラジアル偏光ビームの発生
- 先端レーザ加工機を支えるシミュレーション技術 (特集 製品を支える物理シミュレーション技術)
- UVレーザーを用いたシリコンの微細加工
- 4kWラジアル偏光ビームの発生
- 高輝度LDの開発