電気光学サンプリング法によるCVDダイヤモンド光伝導特性の測定

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概要

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高出力の光伝動素子などに応用されつつ気相合成法(CVD)を用いたダイヤモンド薄膜について、その多結晶性からくる粒界の影響を調べるために、光生成キャリヤの時間発展を超短パルスレーザーを用いたポンププローブ法により測定した。この結果、薄膜内では吸収過程、キャリヤー寿命などが位置により大きく異なることが明らかになった。また、高い空間分解能で測定から、キャリヤ寿命の粒界によるキャリヤ寿命の低下が観測された。さらに、電気光学効果を利用した発生電気パルスの測定からも、これらの短いキャリヤ寿命の存在が確認された。これらの粒界による動特性の変化は高耐圧超高速性を持った素子開発に大きな指針を与えることになると考えられる。
1998-10-21

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