LiNbO_3結晶を用いたLameモード圧電振動子
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概要
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支持の容易な圧電振動子がさまざまな応用に要求されている.本論文では,ニオブ酸リチウム結晶155゜回転Y板から切り出した辺比が整数比の方形板に,四隅が振動の節となるLameモードが存在することを明らかにすると共に,この振動モードが圧電的に強勢に励振可能なことを,振動解析ならびに容量比などの等価回路定数計算により示す.更に,試作したLameモード振動子のインピーダンス特性,変位分布,容量比などを測定し,ほぼ理論と一致する結果が得られることを示す.また,本振動子が四隅の支持による共振周波数やQの変化が少ないことも実証する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-11-25
著者
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